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J-GLOBAL ID：200902137996183057   整理番号：94A0476273

仕事関数制御によるTa₂O₅キャパシタの耐圧向上

Improvement of the breakdown voltages of CVD-Ta2O5 films by the workfunction control.

著者 (7件)： 染谷恭子 (日立 中研) ,  加賀徹 (日立 中研) ,  宿利章二 (日立) ,  平山美鈴 (日立 中研) ,  中田昌之 (日立 中研) ,  大路譲 (日立 中研) ,  久礼得男 (日立 中研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 41st  号： Pt 2  ページ： 662  発行年： 1994年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 仕事関数 ,  Ta2O5 ,  キャパシタ ,  耐圧