分子的精度を持つTiO<sub>2</sub>などの金属酸化物膜の表面ゾル-ゲル法

ICHINOSE I; SENZU H; KUNITAKE T

文献

J-GLOBAL ID：200902138050481216 整理番号：97A0692800

分子的精度を持つTiO₂などの金属酸化物膜の表面ゾル-ゲル法

A Surface Sol-Gel Process of TiO₂ and Other Metal Oxide Films with Molecular Precision.

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巻： 9 号： 6 ページ： 1296-1298 発行年： 1997年06月
JST資料番号： T0893A ISSN： 0897-4756 CODEN： CMATEX 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

nmの桁で膜厚を制御できる金属酸化物超薄膜の表面ゾル-ゲル作...

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塩基,金属酸化物 , 酸化物薄膜 , 応用物理化学的操作・装置

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分子的精度を持つTiO2などの金属酸化物膜の表面ゾル-ゲル法

分子的精度を持つTiO₂などの金属酸化物膜の表面ゾル-ゲル法