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J-GLOBAL ID：200902138061071699   整理番号：02A0532010

プロダクションテクノロジー マイクロEDMにおける電極消耗

著者 (3件)： 増沢隆久 (東大 生産技研 マイクロメカトロニクス国際研セ) ,  TSAI Y-Y (東大 生産技研 マイクロメカトロニクス国際研セ) ,  藤野正俊 (東大 生産技研 マイクロメカトロニクス国際研セ)
資料名： 生産研究  (Journal of Institute of Industrial Science, the University of Tokyo)
巻： 54  号： 3  ページ： 163-166  発行年： 2002年 
JST資料番号： G0185A  ISSN： 0037-105X  CODEN： SEKEAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロテクノロジー,ナノテクノロジーなどの基礎となる微細部...

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,...
準シソーラス用語： SEM【電顕】

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (4件)：

• 1) T. Masuzawa: State of the Art of Micromachining, Annls of the CIRP, 49, 2 (2000) 473-488
• 2) T. Masuzawa: Micro-EDM, Proc. of ISEM XIII (2001) 3-19
• 3) K. P. Rajurkar: 3D Micro-EDM using CAD/CAM, Annals of the CIRP, 49, 1 (2000) 127-130
• 4) C. J . Heuvelman: Some Aspects of the Research on Electro-Erosion Machining, Annals of the CIRP, 17, 1 (1969) 195-199

タイトルに関連する用語 (4件)： テクノロジー ,  マイクロ ,  EDM ,  電極消耗