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J-GLOBAL ID：200902138104352263   整理番号：93A0374470

「電子産業とエアロゾル」 洗浄技術とエアロゾル

Aerosol Problems in Electronic Industry. Cleaning Technology for Aerosol.

著者 (1件)： 本間孝治 (ケミトロニクス)
資料名： エアロゾル研究  (Journal of Aerosol Research)
巻： 8  号： 1  ページ： 22-28  発行年： 1993年03月 
JST資料番号： L0641A  ISSN： 0912-2834  CODEN： EAKEEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子工業分野で重要な洗浄技術について概説するとともにエアロゾ...

シソーラス用語： 洗浄 ,...
準シソーラス用語： 清浄化 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (15件)：

• 1) 理化学辞典第4版, 岩波書店, p.1076 (1987)
• 2) Corn, J. M.: J. Air Polution Control Assoc., 2, 567 (1961)
• 3) (株) シグマテック, パーティクルカウンタカタログ
• 4) たとえば, Niwano, M. and Hirano, S.: “Low temperature Depo”, J. J. A. P. 28 (28), July L1310 (1989)
• 5) Lilienfeld, P.: “Optical Detection”, A Review Aerosol Science and Technology. 5, 145 (1986)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電子産業 ,  エアロゾル ,  洗浄