HFでエッチングしたけい素表面における銅沈着 形態と速度

CHYAN O M R; CHEN J-J; CHIEN H Y; SEES J; HALL L

文献

J-GLOBAL ID：200902138119997821 整理番号：96A0192554

HFでエッチングしたけい素表面における銅沈着形態と速度

Copper Deposition on HF Etched Silicon Surfaces: Morphological and Kinetic Studies.

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資料名：
巻： 143 号： 1 ページ： 92-96 発行年： 1996年01月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

HFで処理したけい素表面におけるCu沈着の速度及び形態を原子...

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腐食・防食一般

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