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J-GLOBAL ID：200902138152842787   整理番号：98A0261476

テーパをつけた形状の正方形ホローカソードにより生成した一様なRF放電プラズマ

Uniform RF Discharge Plasmas Produced by a Square Hollow Cathode with Tapered Shape.

著者 (4件)： FUKUDA T (Gunma Univ., Gunma, JPN) ,  MATSUOKA A (Gunma Univ., Gunma, JPN) ,  KONDOH Y (Gunma Univ., Gunma, JPN) ,  SUGAWARA M (Hachinohe Inst. Technol., Aomori, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 37  号： 1A/B  ページ： L81-L84  発行年： 1998年01月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標題のホローカソード(正方形HCT)を,広い運転圧力領域をも...

シソーラス用語： *ホロー陰極放電 ,...

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分類 (2件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E)

引用文献 (9件)：

• 1) A. Guntherschultze: Z. Tech. Phys. 11 (1930) 49.
• 2) M. Sugawara and T. Asami: Surf. & Coating Technol. <b>73</b> (1995) 1.
• 3) P. F. Little and A. von Engel: Proc. R. Soc. A224 (1954) 209.
• 4) A. von Engel: Ionized Gases (Clarendon Press, Oxford, 1955).
• 5) K. Fujii et al.: IEEE J. Quantum Electron. QE-15 (1979) 35.

タイトルに関連する用語 (5件)： テーパ ,  正方形 ,  ホローカソード ,  RF放電 ,  プラズマ