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J-GLOBAL ID:200902138241630971   整理番号:00A0147169

SON(Silicon On Nothing) ULSI時代のための新しいデバイス構造

SON(Silicon On Nothing). A NEW DEVICE ARCHITECTURE FOR THE ULSI ERA.
著者 (9件):
資料名:
巻: 1999  ページ: 29-30  発行年: 1999年 
JST資料番号: A0035B  ISSN: 0743-1562  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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ショートチャネル効果とドレイン誘起ベースリークをほぼ抑制でき...
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分類 (2件):
分類
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半導体集積回路  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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