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J-GLOBAL ID：200902138328468798   整理番号：94A0762834

ステレオリソグラフィーによる三次元マイクロ統合流体システム(MIFS)

Three dimensional micro integrated fluid systems(MIFS) fabricated by stereo lithograpy.

著者 (3件)： IKUTA K (Kyushu Inst. Technology, Fukuoka, JPN) ,  HIROWATARI K (Kyushu Inst. Technology, Fukuoka, JPN) ,  OGATA T (Kyushu Inst. Technology, Fukuoka, JPN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 7th  ページ： 1-6  発行年： 1994年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： IH工程と呼ぶ,ミクロステレオリソグラフィーと電気めっきを用...

シソーラス用語： マイクロマシニング ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： ステレオリソグラフィー ,  マイクロ ,  統合 ,  流体システム