低比抵抗ITOの低温成膜

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J-GLOBAL ID：200902138393423106 整理番号：96A0068992

Use of low-temperature processing to deposit low-resistivity ITO films.

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巻： 64 号： 12 ページ： 1225-1229 発行年： 1995年12月
JST資料番号： F0252A ISSN： 0369-8009 CODEN： OYBSA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

代表的な透明電気伝導膜であるITO薄膜に関して,その電気的特...

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酸化物薄膜

引用文献 (39件)：

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