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J-GLOBAL ID：200902138470967068   整理番号：01A0350968

レーザフルエンスの異なるパルスレーザ蒸着で低エネルギー窒素イオン支援により合成した窒化炭素膜の構造と結合特性

Structural and bonding properties of carbon nitride films synthesized by low energy nitrogen-ion-beam-assisted pulsed laser deposition with different laser fluences.

著者 (6件)： ZHAO J P (AIST, MITI, Kagawa, JPN) ,  CHEN Z Y (AIST, MITI, Kagawa, JPN) ,  YANO T (AIST, MITI, Kagawa, JPN) ,  OOIE T (AIST, MITI, Kagawa, JPN) ,  YONEDA M (AIST, MITI, Kagawa, JPN) ,  SAKAKIBARA J (AIST, MITI, Kagawa, JPN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 89  号： 3  ページ： 1634-1640  発行年： 2001年02月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒素イオンビーム照射下でグラファイトのレーザアブレーションに...

シソーラス用語： 表面構造 ,...
準シソーラス用語： レーザフルエンス

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザフルエンス ,  パルスレーザ蒸着 ,  低エネルギー ,  窒素イオン ,  支援 ,  窒化 ,  炭素膜