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J-GLOBAL ID：200902138483743185   整理番号：01A0652603

積層セラミックコンデンサーの製造プロセスの将来 ゾル-ゲル合成によるナノ結晶粒子を用いたチタン酸バリウム薄膜の作製と誘電特性

著者 (5件)： 桑原誠 (東大 大学院工学系研究科) ,  倉田奈津子 (福岡県工技セ 機械電子研) ,  緒方道子 (福岡県工技セ 機械電子研) ,  山下洋子 (福岡県工技セ 化学繊維研) ,  有村雅司 (福岡県工技セ 機械電子研)
資料名： セラミックス  (Bulletin of the Ceramic Society of Japan)
巻： 36  号： 6  ページ： 412-416  発行年： 2001年06月01日 
JST資料番号： S0291A  ISSN： 0009-031X  CODEN： SERAA7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高濃度前駆体溶液を用いてゾル-ゲル法によりチタン酸バリウム(...

シソーラス用語： *積層形コンデンサ ,...

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分類 (2件)： LCR部品  (NA05030D) ,  セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

引用文献 (10件)：

• IIJIMA, K. Appl. Phys. Lett. 1990, 56, 527-529
• KAMALASANAN, M. N. Appl. Phys. Lett. 1991, 59, 3547-3579
• KUWABARA, M. Appl. Phys. Lett. 1993, 62, 3372-3374
• HAYASHI, T. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, 5277-5280
• JOSHI, P. C. Thin Solid Films. 1997, 300, 289-294

タイトルに関連する用語 (8件)： 積層セラミックコンデンサー ,  製造プロセス ,  ゾル-ゲル合成 ,  結晶粒子 ,  チタン酸バリウム ,  薄膜 ,  作製 ,  誘電特性