文献
J-GLOBAL ID:200902138527369170
整理番号:94A0195624
Pイオン注入SiO2/Si構造の欠陥 (ESR評価)
Defect structures produced in P ion implanted SiO2/Si (ESR study).
-
出版者サイト
複写サービスで全文入手
-
高度な検索・分析はJDreamⅢで
{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0195624&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0055A") }}