文献

J-GLOBAL ID：200902138742848810   整理番号：95A0777865

高圧用ピエゾ抵抗形圧力センサに関する非直線誤差の温度依存性

Temperature Dependence of Nonlinearity on Piezoresistive Pressure Sensor for High Pressure Measurements.

著者 (7件)： 松岡祥隆 (日立) ,  山本芳巳 (日立) ,  田辺正則 (日立 日立研) ,  山田一二 (日立 日立研) ,  嶋田智 (日立 日立研) ,  保川彰夫 (日立 機械研) ,  松坂英俊 (日立計測エンジニアリング)
資料名： 計測自動制御学会論文集  (Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 31  号： 8  ページ： 1005-1014  発行年： 1995年08月 
JST資料番号： S0104A  ISSN： 0453-4654  CODEN： KJSRA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 最大スパン圧力50MPa用シリコンダイアフラム形圧力センサの...

シソーラス用語： センサ ,...

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分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (21件)：

• MATSUOKA, Y. Differential Pressure/Pressure Transmitters Applied with Semiconductor Sensors. IEEE Trans. 1986, IE-33-2, 152-157
• 西原. 半導体圧力センサの非線形特性の解折. 計測自動制御学会論文集. 1981, 17-2, 274-279
• YAMADA, K. Nonlinearity of the Piezoresistance Effect of p-Type Silicon Diffused Layers. IEEE Trans. 1982, ED-29-1-1, 71-77
• NISHIHARA, M. A Silicon Diaphragm Piezoresistive Pressure Sensor. Proceedings of the 2nd Sensor Symposium. 1982, 167-170
• 田辺. 高圧用半導体圧力センサの直線性. 第18回SICE学術講演会予稿集. 1979, 361-362

タイトルに関連する用語 (6件)： 高圧 ,  ピエゾ抵抗 ,  圧力センサ ,  非直線 ,  誤差 ,  温度依存性