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J-GLOBAL ID:200902138865968675   整理番号:93A0811319

フィルタをかけたイオンビーム蒸着ダイヤモンド様炭素のイオンエネルギーの関数としての特性

Properties of filtered-ion-beam-deposited diamondlike carbon as a function of ion energy.
著者 (6件):
資料名:
巻: 48  号:ページ: 4777-4782  発行年: 1993年08月15日 
JST資料番号: D0746A  ISSN: 1098-0121  CODEN: PRBMDO  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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非水素化非晶質炭素(a-C)上に高度に4面体結合した炭素型を...
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半導体薄膜 
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