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J-GLOBAL ID：200902138899630967   整理番号：02A0356036

EBテストパッド配置比率の向上手法

A Method for Improving the Placement Ratio of E-Beam Testing Pads.

著者 (2件)： 久慈憲夫 (NTTエレクトロニクス エレクトロニクス事業本部) ,  石原隆子 (NTT 通信エネルギー研)
資料名： 電子情報通信学会論文誌 C  (IEICE Transactions on Electronics (Japanese Edition))
巻： J85-C  号： 4  ページ： 293-299  発行年： 2002年04月01日 
JST資料番号： S0623C  ISSN： 1345-2827  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 配線多層化により,電子ビームテスタを前提としたLSIの観測性...

シソーラス用語： 電子ビーム ,...
準シソーラス用語： 電子ビームテスタ

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分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (5件)：

• 久慈憲夫. クォータミクロン時代のEBテスティング. 信学エレクトロニスソ大講演論文集. 1996, C-479, 140-141
• 真田克. RIEを用いて配線層を露出したLSIの評価. LSIテスティングシンポジウム. 1994, 175-181
• MASHIKO, Y. A new VLSI diagnosis technique: Focused ion beam assisted multi-level circuit probing. Reliability Physics 25th Annual Proceedings. 1987, 111-117
• KUJI, N. Improvement of E-beam observabiity by testing-pad placement in LSI design layout. IEICE Trans. Electron. 1999, E82-C, 2, 387-392
• LEE, C. Y. An algorithm for path connections and its applications. IRE Trans. EC. 1961, 346-365

タイトルに関連する用語 (5件)： EB ,  テスト ,  パッド ,  比率 ,  手法