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J-GLOBAL ID：200902139091307430   整理番号：02A0058575

ポリイミドカンチレバーを用いた力制御原子間力顕微鏡のフィードバックバンド幅の減少

Reduction in Feedback Bandwidth of the Force-Controlled Atomic Force Microscope Using a Polyimide Cantilever.

著者 (5件)： KATO N (Kinki Univ., Wakayama, JPN) ,  MATSUMOTO T (Kinki Univ., Wakayama, JPN) ,  KIKUTA H (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  NAKAMURA Y (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  IWATA K (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 40  号： 11  ページ： 6594-6599  発行年： 2001年11月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： バンド幅問題を解決するためポリイミドカンチレバーを利用した。...

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,...

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分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (29件)：

• 1) N. A. Burnham and R. J. Colton: J. Vac. Sci. & Technol. A <B>7</B> (1989) 2906.
• 2) H. A. Mizes, K.-G. Loh, R. J. D. Miller, S. K. Ahuja and E. F. Grabowski: Appl. Phys. Lett. 59 (1991) 2901.
• 3) A. Torii, M. Saski, K. Hane and S. Okuma: Sens. & Actuat. A <B>44</B> (1994) 153.
• 4) L. Weisenhorn, P. Maivald, H. J. Butt and P. K. Hansma: Phys. Rev. B 45 (1992) 11226.
• 5) S. M. Hues, C. F. Draper and R. J. Colton: J. Vac. Sci. & Technol. B <B>12</B> (1994) 2211.

タイトルに関連する用語 (4件)： 力制御 ,  原子間力顕微鏡 ,  フィードバック ,  バンド幅