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J-GLOBAL ID：200902139147545860   整理番号：02A0273563

基板温度を変化させたときの微結晶シリコン薄膜の光学的性質

Optical Properties of Microcrystalline Silicon Films Prepared with Varied Substrate Temperatures.

著者 (3件)： 田中雅子 (岐阜工高専) ,  羽淵仁恵 (岐阜工高専) ,  HAN D (Univ. North Carolina)
資料名： 岐阜工業高等専門学校紀要  (Memoirs of Gifu National College of Technology)
号： 37  ページ： 77-82  発行年： 2002年03月01日 
JST資料番号： F0419A  ISSN： 0386-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 基板温度 ,  微結晶 ,  シリコン薄膜 ,  光学的性質