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J-GLOBAL ID：200902139297110020   整理番号：99A0162382

超微粒子ビームによる成膜法と微細加工への展開

Deposition method using an ultrafine particle beam and its application to microfabrication.
著者 (1件)：
明渡純

明渡純 について

(機械技研)

機械技研 について


資料名：
応用物理  (JSAP International)

応用物理 について


巻： 68  号： 1  ページ： 44-47  発行年： 1999年01月 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
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超微粒子を数百m/s前後に加速し,金属,セラミックス基板に衝...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*超微粒子

超微粒子 について

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*PZT【鉛化合物】

PZT【鉛化合物】 について


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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

引用文献 (13件)：
  • SHELTON, H. J.Appl.Phys. 1960, 31, 1243
  • 津和秀夫. 精密機械. 1972, 38, 37
  • 井出敬. 精密工学学会誌. 1991, 57, 143
  • 林主税. 超微粒子. 1988
  • KASYU, S. Jpn.J.Appl.Phys. 1984, 23, L910
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タイトルに関連する用語 (5件)：
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超微粒子

超微粒子 について

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ビーム について

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成膜

成膜 について

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微細加工

微細加工 について

, 
展開

展開 について


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