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J-GLOBAL ID：200902139617506270   整理番号：95A0859635

有機金属分解によりサファイア上に蒸着したニオブ酸リチウム薄膜の微細構造の発展とエピタキシャル整列

Microstructural evolution and epitaxial alignment of thin films of lithium niobate deposited onto sapphire by metallo-organic decomposition.

著者 (3件)： BRAUNSTEIN G (Eastman Kodak Co., NY, USA) ,  PAZ-PUJALT G R (Eastman Kodak Co., NY, USA) ,  BLANTON T N (Eastman Kodak Co., NY, USA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 264  号： 1  ページ： 4-10  発行年： 1995年08月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有機金属前駆物質のスピンコーティングと熱分解,そして500~...

シソーラス用語： 誘電体薄膜 ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (10件)： 有機金属 ,  分解 ,  サファイア ,  蒸着 ,  ニオブ酸リチウム ,  薄膜 ,  微細構造 ,  発展 ,  エピタキシャル ,  整列