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J-GLOBAL ID：200902139622021749   整理番号：97A0080605

絶縁材上シリコン技術における導波光学

Guided-wave optics in silicon-on-insulator technology.
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著者 (4件)：
JALALI B

JALALI B について

(Univ. California at Los Angeles, California, USA)

Univ. California at Los Angeles, California, USA について

, 
TRINH P D

TRINH P D について

(Univ. California at Los Angeles, California, USA)

Univ. California at Los Angeles, California, USA について

, 
YEGNANARAYANAN S

YEGNANARAYANAN S について

(Univ. California at Los Angeles, California, USA)

Univ. California at Los Angeles, California, USA について

, 
COPPINGER F

COPPINGER F について

(Univ. California at Los Angeles, California, USA)

Univ. California at Los Angeles, California, USA について


資料名：
IEE Proceedings. Optoelectronics  (IEE Proceedings. Optoelectronics)

IEE Proceedings. Optoelectronics について


巻： 143  号： 5  ページ： 307-311  発行年： 1996年10月 
JST資料番号： B0058D  ISSN： 1350-2433  CODEN： IPOPE8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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CMOS電子工学で発展した薄膜SOI(絶縁材上シリコン)技術...
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SOI構造

SOI構造 について

,...
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分類 (3件)：
分類
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光導波路,光ファイバ,繊維光学 
(BD06030H)

光導波路,光ファイバ,繊維光学 について

,  光集積回路,集積光学 
(BD06050D)

光集積回路,集積光学 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (3件)：
タイトルに関連する用語
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絶縁材

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シリコン

シリコン について

, 
導波光

導波光 について


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