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J-GLOBAL ID：200902139974482495   整理番号：96A0639139

耐摩耗性フッ素化ダイヤモンド状炭素膜

Wear Resistant Fluorinated Diamondlike Carbon Films.
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GRILL A

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(IBM Res. Div., NY, USA)

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PATEL V V

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(IBM Res. Div., NY, USA)

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資料名：
Diamond Films and Technology  (Diamond Films and Technology)

Diamond Films and Technology について


巻： 6  号： 1  ページ： 13-21  発行年： 1996年 
JST資料番号： L1952A  ISSN： 0917-4540  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
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シソーラス用語：
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半導体薄膜

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ジフルオロベンゼン

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半導体薄膜 
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