Si-C-N系無機膜のプレカーサーの研究

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J-GLOBAL ID：200902140131708376 整理番号：00A0893154

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資料名：
巻： 2000 ページ： 34 発行年： 2000年
JST資料番号： L1711A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

高温ガス分離無機膜への応用が期待されているSi-C-N系アモ...

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セラミック・陶磁器の製造 , 膜分離

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