マグネトロンスパッタリングで調製した多結晶酸化亜鉛薄膜における機械的応力のその場測定

HINZE J; ELLMER K

文献

J-GLOBAL ID：200902140347655250 整理番号：00A0921719

マグネトロンスパッタリングで調製した多結晶酸化亜鉛薄膜における機械的応力のその場測定

In situ measurement of mechanical stress in polycrystalline zinc-oxide thin films prepared by magnetron sputtering.

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巻： 88 号： 5 ページ： 2443-2450 発行年： 2000年09月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標題の薄膜において,基板との熱膨張係数の差にはよらない固有応...

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酸化物薄膜

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