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J-GLOBAL ID：200902140360221499   整理番号：03A0050115

RFマグネトロンスパッタリングによる作製したエピタクシー(Pb,Sr)TiO₃薄膜の電気特性

Electrical Properties of Epitaxial (Pb,Sr)TiO₃ Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering.

著者 (4件)： KARAKI T (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN) ,  DU J (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN) ,  FUJII T (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN) ,  ADACHI M (Toyama Prefectural Univ., Toyama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41  号： 11B  ページ： 6761-6764  発行年： 2002年11月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (Pb,Sr)TiO₃(PZT)薄膜を...

シソーラス用語： 鉛化合物 ,...

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分類 (1件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

引用文献 (6件)：

• 1) J.-W. Liou and B.-S. Chioum: J. Am. Ceram. Soc. 80 (1997) 3093.
• 2) D. Garcis, R. Guo and A. Bhalla: Ferroelectr. Lett. 27 (2000) 137.
• 3) E. Ngo, P. C. Joshi, M. W. Cloe and C. W. Hubbard: Appl. Phys. Lett. 79 (2001) 248.
• 4) S. Nomura and S. Sawada: J. Phys. Soc. Jpn. 10 (1955) 108.
• 5) Y. Somiya, A. S. Bhalla and L. E. Cross: Int. J. Inorg. Mater. 3 (2001) 709.

タイトルに関連する用語 (7件)： RFマグネトロンスパッタリング ,  作製 ,  エピタクシー ,  Pb ,  Sr ,  薄膜 ,  電気特性