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J-GLOBAL ID：200902140384521612   整理番号：00A0152494

RFマグネトロンスパッタ法で成膜したチタン酸鉛(PbTiO₃)の特性

Characteristics of Lead Titanate Film Made by RF Magnetron Sputter Deposition Method.

著者 (6件)： 三須幸一郎 (三菱電機) ,  永塚勉 (三菱電機) ,  和高修三 (三菱電機) ,  山田朗 (三菱電機) ,  前田智佐子 (三菱電機) ,  田治米徹 (三菱電機)
資料名： 電子情報通信学会論文誌 C-1  (Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-1)
巻： J82-C-1  号： 12  ページ： 769-776  発行年： 1999年12月25日 
JST資料番号： S0623B  ISSN： 0915-1893  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文は,RFマグネトロンスパッタ法を用いて成膜したチタン酸...

シソーラス用語： RFスパッタリング ,...
準シソーラス用語： 電気機械結合係数

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分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M)

引用文献 (15件)：

• LAKIN, K. M. UHF composite bulk wave resonator. 1980 IEEE US Symp. Proc. 1980, 834-837
• GRUDKOWSKI, T. W. Fundamental mode VHF/UHF Bulk acoustic wave resonators and filters on silicon. 1980 IEEE US Symp. Proc. 1980, 829-833
• NAKAMURA, K. ZnO/SiO_2-Diaphragm composite resonator on a silicon wafer. Electron. Lett. 1981, 17, 507-508
• 中村僖良. 異方性エッチSi基板を用いたZnO膜低次オーバートーン厚み共振子. 日本音響学会講演論文集. 1980, 127-128
• 楢原長次. 空隙型圧電薄膜共振子を用いた超小型発振器. 昭62信学総全大. 1-92

タイトルに関連する用語 (3件)： RFマグネトロンスパッタ法 ,  成膜 ,  チタン酸鉛