文献
J-GLOBAL ID：200902140730805185
整理番号：99A0421138
圧電素子と空気圧シリンダを組合わせた精密位置調整機構
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著者 (2件)：
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資料名：
巻：
1999
号：
春季
ページ：
109
発行年：
1999年03月05日
JST資料番号：
Y0914A
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
引用文献 (2件)：
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劉. 1998年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 710
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劉. 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 568
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