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J-GLOBAL ID：200902140910132227   整理番号：99A0718775

クリーンルーム構成材料から発生する分子状汚染物質の測定方法指針(案)

Standard for Evaluation of Out-Gas Emitted from Construction/Composition Materials for Cleanroom.

資料名： 空気清浄  (コンタミネーションコントロール)
巻： 37  号： 2  ページ： 82-126  発行年： 1999年07月31日 
JST資料番号： G0779A  ISSN： 0023-5032  CODEN： KUSEBF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 安全基準規格など  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体,表示パネル,磁気媒体などの製造に用いられる工業用クリ...

シソーラス用語： *クリーンルーム ,...
準シソーラス用語： *大気質試験 ,...

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分類 (2件)： 空気浄化  (PC02060X) ,  大気質調査測定一般  (SB03040I)

タイトルに関連する用語 (6件)： クリーンルーム ,  分子状 ,  汚染物質 ,  測定方法 ,  指針 ,  案