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J-GLOBAL ID：200902141413211586   整理番号：96A0721473

電子サイクロトロン共鳴プラズマ化学蒸着によるダイヤモンド状炭素膜の電界放出特性

Field Emission Characteristics of Diamond-like Carbon Films Prepared by Electron Cyclotron Resonance Plasma Chemical Vapor Deposition.

著者 (4件)： GOTOH K (NHK Sci. and Technical Res. Lab., Tokyo, JPN) ,  EGAMI N (NHK Sci. and Technical Res. Lab., Tokyo, JPN) ,  HIRANO Y (NHK Sci. and Technical Res. Lab., Tokyo, JPN) ,  SATO F (NHK Sci. and Technical Res. Lab., Tokyo, JPN)
資料名： 静岡大学電子工学研究所研究報告  (Bulletin of the Research Institute of Electronics, Shizuoka University)
巻： 30  号： 3  ページ： 223-225  発行年： 1995年 
JST資料番号： S0453A  ISSN： 0286-3383  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記炭素膜の有無による円錐形けい素エミッタの電界放出特性を評...

シソーラス用語： *電界放出 ,...

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分類 (2件)： その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電子サイクロトロン共鳴プラズマ ,  化学蒸着 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  電界放出