GaN膜の光学的パターニング

KELLY M K; AMBACHER O; DAHLHEIMER B; GROOS G; DIMITROV R; ANGERER H; STUTZMANN M

文献

J-GLOBAL ID：200902141586440700 整理番号：96A0855830

GaN膜の光学的パターニング

Optical patterning of GaN films.

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資料名：
巻： 69 号： 12 ページ： 1749-1751 発行年： 1996年09月16日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

レーザ誘起熱分解によりGaN膜のパターンエッチングを実現した...

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試料技術 , 固体デバイス製造技術一般

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