非晶質シリコンにおける結晶粒の核形成

SPINELLA C; LOMBARDO S; PRIOLO F

文献

J-GLOBAL ID：200902141617251145 整理番号：99A0093280

非晶質シリコンにおける結晶粒の核形成

Crystal grain nucleation in amorphous silicon.

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巻： 84 号： 10 ページ： 5383-5414 発行年： 1998年11月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：文献レビュー発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

酸化したシリコンウエハに化学気相成長させた非晶質シリコン(a...

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半導体の結晶成長 , 半導体薄膜 , 非晶質半導体の構造

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