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J-GLOBAL ID：200902142179486807   整理番号：94A0703689

光造形法における光学解析 レーザパワー密度分布の同定手法

Optical System Analysis of the Rapid Prototyping. Identification of the Laser Power Density Distribution.

著者 (2件)： 楢原弘之 (北大 工) ,  斎藤勝政 (北大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 60  号： 8  ページ： 1117-1121  発行年： 1994年08月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光造形法による形状誤差はほぼ満足されるものであるが,積層によ...

シソーラス用語： レーザリソグラフィー ,...
準シソーラス用語： 橋架け

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (3件)：

• 1) H. Kogelnik : Propagation of Laser Beams (Chap. 6), in Applied Optics and Optical Engineering, R. R. Shannon and J. C. Wyant ed., Academic Press, New York. N. Y., (1979) 155.
• 2) 伊賀健一 : レーザ光学の基礎, オーム社, (1988).
• 3) 中川 徹, 小柳義夫 : 最小二乗法による実験データ解析-プログラムSALS, UP応用数学選書7, 東京大学出版会, (1982).

タイトルに関連する用語 (6件)： 光造形 ,  光学解析 ,  レーザパワー ,  密度分布 ,  同定 ,  手法