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J-GLOBAL ID:200902142235625955   整理番号:00A0085539

金属薄膜の機械的性質の評価

Evaluation of the mechanical properties of thin metal films.
著者 (4件):
資料名:
巻: 116/119  ページ: 128-132  発行年: 1999年09月 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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Si基板上のAl膜の降伏強度と硬度指数を求めるために圧痕荷重...
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金属薄膜 
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