偏光解析に基づく表面プロフィロメトリー

LESSO J P; DUNCAN A J; SIBBETT W; PADGETT M J

文献

J-GLOBAL ID：200902142292093250 整理番号：99A0642417

偏光解析に基づく表面プロフィロメトリー

Surface profilometry based on polarization analysis.

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資料名：
巻： 23 号： 23 ページ： 1800-1802 発行年： 1998年12月01日
JST資料番号： H0690A ISSN： 0146-9592 CODEN： OPLEDP 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

表面形状に関する干渉像を解析するための新しいアルゴリズムにつ...

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干渉測定と干渉計 , 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器

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