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J-GLOBAL ID:200902142746216891   整理番号:02A0833561

パルスレーザアブレーションによる膜及びナノ粒子堆積中のプルーム動力学

Plume dynamics during film and nanoparticles deposition by pulsed laser ablation.
著者 (8件):
資料名:
巻: 302  号:ページ: 182-189  発行年: 2002年09月23日 
JST資料番号: C0600B  ISSN: 0375-9601  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
シソーラス用語:
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分類 (1件):
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薄膜成長技術・装置 
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