文献

J-GLOBAL ID：200902142804876570   整理番号：96A0961252

Design of high performance chemically amplified resist.

著者 (8件)： NIINOMI T (Mitsubishi Chemical Corp., Yokohama, JPN) ,  TOMIYASU H (Mitsubishi Chemical Corp., Yokohama, JPN) ,  KAMEYAMA Y (Mitsubishi Chemical Corp., Yokohama, JPN) ,  TSUKAMOTO M (Mitsubishi Chemical Corp., Yokohama, JPN) ,  TANAKA Y (Mitsubishi Chemical Corp., Yokohama, JPN) ,  FUJITA J (Mitsubishi Chemical Corp., Yokohama, JPN) ,  SHIMOMURA S (Mitsubishi Chemical Corp., Yokohama, JPN) ,  OCHIAI T (Mitsubishi Chemical Corp., Yokohama, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 2724  ページ： 174-185  発行年： 1996年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： DESIGN