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J-GLOBAL ID：200902142936853871   整理番号：98A0611054

モワレ干渉法における位相シフト解析とその電子パッケージングへの応用

Phase-shifting analysis in moire interferometry and its applications in electronic packaging.

著者 (4件)： HE X (Wayne State Univ., Michigan) ,  ZOU D (Wayne State Univ., Michigan) ,  LIU S (Wayne State Univ., Michigan) ,  GUO Y (Motorola Semiconductor Products Sector, Arizona)
資料名： Optical Engineering  (Optical Engineering)
巻： 37  号： 5  ページ： 1410-1419  発行年： 1998年05月 
JST資料番号： B0577B  ISSN： 0091-3286  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 碁盤目の回折格子と4枚の鏡からなる4ビームモワレ干渉計を使っ...

シソーラス用語： *モアレ ,...

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分類 (2件)： その他の光学的測定法とその装置  (BD07080R) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： モワレ干渉法 ,  位相シフト ,  解析 ,  電子 ,  パッケージング ,  応用