せん断モード圧電マイクロアクチュエータによる磁気ディスク装置の2段アクチュエータシステム

KOGANEZAWA S; UEMATSU Y; YAMADA T; NAKANO H; INOUE J; SUZUKI T

文献

J-GLOBAL ID：200902143150911432 整理番号：99A0444178

せん断モード圧電マイクロアクチュエータによる磁気ディスク装置の2段アクチュエータシステム

Dual-Stage Actuator System for Magnetic Disk Drives Using a Shear Mode Piezoelectric Microactuator.

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資料名：
巻： 35 号： 2, Pt.1 ページ： 988-992 発行年： 1999年03月
JST資料番号： A0339B ISSN： 0018-9464 CODEN： IEMGAQ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

標題圧電マイクロアクチュエータを開発した。このマイクロアクチ...

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電子・磁気・光学記録 , 圧電デバイス

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