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J-GLOBAL ID:200902143200024580   整理番号:95A0629973

高品質PLZT膜の直接液体注入MOCVD

Direct liquid injection MOCVD of high quality PLZT films.
著者 (3件):
資料名:
巻: 23  号: 4/6  ページ: 177-180  発行年: 1995年05月 
JST資料番号: E0935A  ISSN: 0167-577X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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標記のMOCVDで(III)Pt/Ti/SiO<sub>2<...
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準シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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酸化物薄膜  ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性 
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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