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J-GLOBAL ID：200902143200024580   整理番号：95A0629973

高品質PLZT膜の直接液体注入MOCVD

Direct liquid injection MOCVD of high quality PLZT films.
著者 (3件)：
TAO W

TAO W について

(Virginia Polytechnic Inst. and State Univ., VA, USA)

Virginia Polytechnic Inst. and State Univ., VA, USA について

, 
DESU S B

DESU S B について

(Virginia Polytechnic Inst. and State Univ., VA, USA)

Virginia Polytechnic Inst. and State Univ., VA, USA について

, 
LI T K

LI T K について

(Virginia Polytechnic Inst. and State Univ., VA, USA)

Virginia Polytechnic Inst. and State Univ., VA, USA について


資料名：
Materials Letters  (Materials Letters)

Materials Letters について


巻： 23  号： 4/6  ページ： 177-180  発行年： 1995年05月 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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標記のMOCVDで(III)Pt/Ti/SiO<sub>2<...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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MOCVD

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,...
準シソーラス用語：
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PLZT

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分類 (2件)：
分類
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酸化物薄膜 
(BK14050P)

酸化物薄膜 について

,  強誘電体,反強誘電体,強弾性 
(BM05030B)

強誘電体,反強誘電体,強弾性 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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高品質

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PLZT

PLZT について

, 
注入

注入 について

, 
MOCVD

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