低温シラン酸化に関係した素反応のGaussian-2理論によるab initioエネルギー計算

文献

J-GLOBAL ID：200902143209861078 整理番号：97A0858741

Ab Initio Energetic Calculations of Elementary Reactions Relevant to Low-Temperature Silane Oxidation by Gaussian-2 Theory.

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KONDO S

KONDO S について

(National Inst. Materials and Chemical Res., Ibaraki, JPN)