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J-GLOBAL ID：200902144637273063   整理番号：00A0972034

レーザー蛍光法によるSiH₄プラズマ中の水素原子密度計測

Measurements of Atomic Hydrogen Densities in SiH₄ Plasmas using Laser-Induced Fluorescence.

著者 (1件)： 宮崎浩一 (久留米工高専)
資料名： 久留米工業高等専門学校紀要  (Memoirs of Kurume College of Technology)
巻： 16  号： 1  ページ： 15-19  発行年： 2000年09月30日 
JST資料番号： F0734B  ISSN： 0911-8705  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 243nmにおける基底状態(主量子数n=1)からn=2の状態...

シソーラス用語： *プラズマ診断 ,...

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分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザー蛍光 ,  SiH4 ,  プラズマ ,  水素原子 ,  密度計測