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J-GLOBAL ID：200902144640622338   整理番号：01A0198119

けい素上にECR-CVDにより合成した非晶質窒化炭素の光学的性質

Optical properties of amorphous carbon nitride synthesized on Si by ECR-CVD.

著者 (5件)： LIU X W (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  TSENG C H (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  LIN J H (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  CHAO L T (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  SHIH H C (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 135  号： 2/3  ページ： 184-187  発行年： 2001年01月15日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記の方法(電子サイクロトロン共鳴化学蒸着)によりバイアス電...

シソーラス用語： *炭素化合物 ,...
準シソーラス用語： 非晶質窒化炭素 ,...

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分類 (3件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  半導体結晶の電子構造  (BM02060N) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： アセチレン

タイトルに関連する用語 (5件)： けい素 ,  CVD ,  非晶質 ,  窒化炭素 ,  光学的性質