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J-GLOBAL ID：200902144771250665   整理番号：93A0696259

SiCH₃Cl₃-NH₃-H₂からのSiC-Si₃N₄複合粉末の熱プラズマ合成

Thermal Plasma Synthesis of SiC-Si₃N₄ Composite Powders from SiCH₃Cl₃-NH₃-H₂.

著者 (2件)： SEON H-S (Pohang Inst. Science and Technology, Pohang, KOR) ,  RHEE S-W (Pohang Inst. Science and Technology, Pohang, KOR)
資料名： Journal of Materials Engineering and Performance  (Journal of Materials Engineering and Performance)
巻： 2  号： 3  ページ： 407-411  発行年： 1993年06月 
JST資料番号： C0161B  ISSN： 1059-9495  CODEN： JMEPEG  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： トリクロロメチルシラン,アンモニア,水素を高温,高周波熱プラ...

シソーラス用語： シラン誘導体 ,...
準シソーラス用語： トリクロロメチルシラン

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分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (6件)： NH3 ,  H2 ,  SiC ,  Si3N4 ,  複合粉末 ,  熱プラズマ