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J-GLOBAL ID：200902144890472579   整理番号：95A0589918

透過電子顕微鏡試料作製の新手法

Advanced Techniques for Specimen Preparation for Transmission Electron Microscopy of Materials.

著者 (2件)： 黒田光太郎 (名古屋大 大学院) ,  坂公恭 (名古屋大 大学院)
資料名： まてりあ  (Materia Japan)
巻： 34  号： 6  ページ： 769-774  発行年： 1995年06月 
JST資料番号： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 最近注目されている電子顕微鏡試料作成に関して,精密機械的研磨...

シソーラス用語： 透過型電子顕微鏡 ,...
準シソーラス用語： イオンミリング ,...

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分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  金属組織観察法  (WB01010R)

引用文献 (31件)：

• MARCUS, R. B. Transmission Elecron Microscopy of VLSI Circuits and Structures. 1983
• PLUMMER, H. K. Proc. 42nd Electron Microsc. Soc. America, Detroit. 1984, 398
• 斎藤忠夫. 第39回応用物理学会関係連合会予稿集. 1992, 29a-NA-10
• 斎藤忠夫. 第39回応用物理学会関係連合会予稿集. 1992, 29a-Na-11
• 日経産業新聞. 1994, 10月7日

タイトルに関連する用語 (3件)： 透過電子顕微鏡 ,  試料作製 ,  手法