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J-GLOBAL ID：200902145212308366   整理番号：99A0581040

BPSG組成測定用グロー放電発光分光分析装置(GDS)の開発

Development of Glow Discharge Optical Emission Spectrometer(GDS) for Element Analysis in BPSG Film.

著者 (8件)： 三井泰裕 (日立) ,  山口夏生 (日立) ,  渡辺健二 (日立) ,  木村茂治 (日立) ,  清水良祐 (愛宕物産) ,  松本進 (愛宕物産) ,  NELIS T (Jobin Yvon) ,  渡瀬進一郎 (日立東京エレクトロニクス)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 59th  号： 2  ページ： 726  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： BPSG ,  組成 ,  グロー放電発光分光分析 ,  GDS ,  開発