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J-GLOBAL ID：200902145244630235   整理番号：03A0410691

PBII法により作製したDLC膜の摩擦・摩耗特性

著者 (4件)： 池山雅美 (産業技術総合研 基礎素材研究部門) ,  中尾節男 (産業技術総合研 基礎素材研究部門) ,  宮川佳子 (産業技術総合研 基礎素材研究部門) ,  宮川草児 (産業技術総合研 基礎素材研究部門)
資料名： 21世紀連合シンポジウム論文集
巻： 1st  ページ： 397-400  発行年： 2002年11月23日 
JST資料番号： L2435B  ISSN： 1347-9717  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ステンレス基板上にPBII(プラズマ利用イオン注入)法により...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (4件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  材料試験  (HB02020U) ,  その他の材料の試験  (HB05000T) ,  その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V)

タイトルに関連する用語 (5件)： PBII法 ,  作製 ,  DLC膜 ,  摩擦 ,  摩耗特性