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J-GLOBAL ID:200902145813385350   整理番号:02A0699271

TM様およびTE様モード間のモード間干渉を用いたけい素に基づいた集積光学圧力センサ

Silicon-Based Integrated Optic Pressure Sensor Using Intermodal Interference between TM-Like and TE-Like Modes.
著者 (5件):
資料名:
巻: 21  号:ページ: 105-113  発行年: 2002年 
JST資料番号: A0579B  ISSN: 0146-8030  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
光集積回路,集積光学  ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器 

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