ミリメータ波帯域で動作するモノリシックマイクロ波集積回路用SrTiO<sub>3</sub>薄膜の電子サイクロトロン共鳴スパッタリングによる低温堆積

IKUTA K; TSUKADA M; NISHIMURA H

文献

J-GLOBAL ID：200902145836317025 整理番号：98A0604821

ミリメータ波帯域で動作するモノリシックマイクロ波集積回路用SrTiO₃薄膜の電子サイクロトロン共鳴スパッタリングによる低温堆積

Low-Temperature Deposition of SrTiO₃ Thin Films by Electron-Cyclotron-Resonance Sputtering for Monolithic Microwave Integrated Circuits Operating in the mm-Wave Band.

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巻： 37 号： 4A ページ： 1960-1963 発行年： 1998年04月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

チタン酸ストロンチウム(STO)薄膜のECRプラズマ蒸着につ...

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酸化物薄膜

引用文献 (14件)：

1) Y. Ohno, T. Horikawa, H. Shinkawa, K. Kashihara, T. Kuroiwa, T. Okudaira, Y. Hashizume, K. Fukumoto, T. Eimori, T. Shibano, K. Arimoto, H. Itoh, T. Nishimura and H. Miyoshi: 1994 Symp. VLSI Technology Dig. Tech. Pap. (1994) 11.1, p. 149.
2) P. Y. Lesaicherre, H. Yamaguchi, Y. Miyasaka, H. Watanabe, H. Ono and M. Yoshida: Integrat. Ferroelectr. 8 (1995) 201.
3) M. Nishitsuji, A. Tamura, T. Kunihisa, K. Yahata, M. Shibuya, M. Kitagawa and T. Hirao: IEEE GaAs IC Symp. (1993) p. 329.
4) T. B. Nishimura, K. Yamaguchi, N. Iwata, M. Tomita, K. Takemura, M. Kuzuhara and Y. Miyasaka: 1997 IEEE Radio Frequency Integrated Circuits Symp. (1997) p. 37.
5) T. Kawahara, M. Yamamuka, T. Makita, J. Naka, A. Yuuki, N. Mikami and K. Ono: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) 5129

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ミリメータ波帯域で動作するモノリシックマイクロ波集積回路用SrTiO3薄膜の電子サイクロトロン共鳴スパッタリングによる低温堆積

ミリメータ波帯域で動作するモノリシックマイクロ波集積回路用SrTiO₃薄膜の電子サイクロトロン共鳴スパッタリングによる低温堆積