文献
J-GLOBAL ID：200902145971835176   整理番号：94A0234751

Diamond deposition from ECR-generated plasmas.

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著者 (3件)：
EDDY C R

EDDY C R について

(Naval Research Lab., Washington, D.C.)

Naval Research Lab., Washington, D.C. について

, 
YOUCHISON D L

YOUCHISON D L について

(Sandia National Lab., NM)

Sandia National Lab., NM について

, 
SARTWELL B D

SARTWELL B D について

(Naval Research Lab., Washington, D.C.)

Naval Research Lab., Washington, D.C. について


資料名：
Proceedings of the 3rd International Symposium on Diamond Materials, 1993  (Proceedings of the 3rd International Symposium on Diamond Materials, 1993)

Proceedings of the 3rd International Symposium on Diamond Materials, 1993 について


ページ： 498-504  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19940189  ISBN： 1-56677-060-2  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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