遠隔プラズマ窒化シリコンを使用したシリコン太陽電池の低温表面不動態化における進歩

文献

J-GLOBAL ID：200902146041575448 整理番号：97A0383634

Progress in Low-temperature Surface Passivation of Silicon Solar Cells using Remote-plasma Silicon Nitride.

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資料名：
巻： 5 号： 1 ページ： 29-50 発行年： 1997年01月
JST資料番号： W0463A ISSN： 1062-7995 CODEN： PPHOED 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

従来の直接プラズマ技術と対照的な遠隔プラズマ技術を使用して,...

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固体デバイス製造技術一般 , 太陽電池

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