文献

J-GLOBAL ID：200902146105663249   整理番号：93A0583538

Ion implantation in multilayers.

著者 (2件)： LIGEON E (CENG, Grenoble, FRA) ,  HAMOUDI A (CENG, Grenoble, FRA)
資料名： Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena  (Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena)
巻： 30/31  ページ： 467-476  発行年： 1993年 
JST資料番号： T0583A  ISSN： 1012-0394  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)